ASM şirketinin bir yan kuruluşu olarak, Hollandalı Levitech şirketi yarı iletken sanayisi için makineler geliştirmekte ve üretmektedir. Piyasada talep edilen daha küçük yapılar ve daha yüksek bir birlikteliği sağlamak amacıyla, makine üreticisinin yeni ısı transferi yöntemleri uygulaması gerekiyordu. Bunun için daha hızlı bir sıcaklık düzeltmesi ve özellikle daha hassas bir kontrol gerekmekteydi. Bu nedenle Levitech, Levitor makinesinin termal prosesinin kontrolü için bir alternatif arayışına girdi. Almere, Hollanda'dan bu şirket, çözümün uygulanabileceği partner olarak JUMO'yu buldu.
Wafer üretimi için reaktör, süreç sıcaklığına göre ısıtılan 2 grafit levhadan oluşmaktadır. Optimum sonuçlar elde edebilmek için bu levhaların belirli özelliklere sahip olması gerekmektedir. Proses sırasında, gaz yardımıyla wafer, her iki levha arasında dokunmadan süzülür. 1.200 °C'lik gerekli sıcaklığa ulaşabilmek için özel Kanthal® ısıtma elemanları kullanılmaktadır.
Amaç, yenilikçi ısı transfer yöntemlerini uygulayabilmekti. Bu yöntemler, wafer'in çok hızlı bir şekilde ısınmasını ve aynı şekilde çok hızlı bir şekilde soğumasını sağlar. Wafer'in her iki tarafında, çok verimli bir ısı iletkenliği sağlayan 0,15 mm'lik eşit bir açıklık bulunur. Wafer, saniyeler içinde grafit levhaların sıcaklığına ısıtılır. Bu levhalar, belirli bir ısıtma kontrolü ile düzenlenir.
Levitech'in Yarı İletken Üretimi için Levitor Makinesi
Isıtma kontrolü için JUMO'nun bir triyistör güç kontrolörü kullanılmaktadır. JUMO TYA 201, Kanthal® ısıtma elemanının istenilen akım ve gerilimini her sıcaklık aşamasında kontrol eder ve böylece sürecin hassas sıcaklık profilini sağlar. Bu sistem, wafer'ların her zaman aynı ve optimal sıcaklıkta üretilmesini mümkün kılar.
Levitech Levitor'daki bir Wafer
Levitech'in Levitor'undaki ısıtma sürecindeki wafer
JUMO TYA 201 triyistör güç kontrolörünün özellikleri sayesinde, daha hassas bir kontrol ve daha hızlı bir sıcaklık düzeltmesi sağlanabilmiştir. Bu sayede, yarı iletken üretiminde yenilikçi ısı transfer yöntemleri uygulanabilmektedir. Böylece Levitech, pazar taleplerini karşılamakta ve aynı zamanda işlem hızını artırmaktadır.
